使用安装在三轴机器人上的2.2微米敏感的3D激光,可以获取几张高清图像,并将其组合起来生成3D点云。
这张1GB的图像是用关键的角点覆盖扫描后的3D数据生成的。检查包括评估8个针网格组中每个针的20000个针位置。
每个针的尺寸小于100平方微米,高度只有360微米。除了平面度,检查x-y位置,旋转和销偏差在10微米以内。
整个过程在90秒内完成。


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